申请号 |
CN200810179966 |
申请日 |
2008.09.26 |
公开(公告)号 |
CN101683587A |
公开(公告)日 |
2010.03.31 |
IPC分类号 |
B01D53/28; H01L51/56; H01L51/50; H05B33/04 |
申请(专利权)人 |
株式会社东芝; |
发明人 |
秋元佳子;五十川昌邦; |
优先权号 |
JP251550/2007; JP235148/2008 |
优先权日 |
2007.09.27; 2008.09.12 |
申请人地址 |
日本东京都; |
CPC分类号 |
|
声明:凡注明为其它来源的信息均转自其它平台,目的在于传递更多信息,并不代表本站观点及立场。若有侵权或异议请联系我们。